材料的放氣率、滲透率和飽和蒸氣壓決定了材料的超高真空性能。

超高真空所需要的材料，除了應(yīng)滿足真空材料一般要求外，還應(yīng)滿足下列要求。

(1)在烘烤溫度下，材料不應(yīng)該喪失其機(jī)械性能;殼體材料能承受外部大氣壓力。一般低熔點金屬和軟玻璃滿足不了這種要求。

(2)材料在烘烤溫度下蒸氣壓要低。

(3)材料的滲透氣體量不能超過允許值。

(4)材料加熱時不易變形。

(5)材料表面容易拋光。

從這些要求出發(fā)，適于超高真空中使用的通用材料有:無磁不銹鋼、高純鋁、無氧銅、金和硼硅酸玻璃、高鋁玻璃、氧化鋁陶瓷等。普通碳鋼因烘烤時會大量滲氫和易銹蝕而不適于做超高真空的結(jié)構(gòu)材料。