在冷凍干燥過程中，常用的真空設(shè)備是真空機(jī)組，此工藝要求的真空度會特別高，而且抽取的氣體含有水蒸氣或者可凝性氣體，所以適用于羅茨水環(huán)真空機(jī)組。

在具體使用過程中，干燥箱內(nèi)的總壓力直接影響著傳向產(chǎn)品的熱交換以及通往冷凝器的水蒸氣質(zhì)量轉(zhuǎn)換，所以必須精確控制和測量。

通過降低真空泵抽氣能力或關(guān)閉真空泵，使升華的不凝性氣體逐步在冷阱中聚集，降低冷阱的冷凝速度，從而提高冷阱和干燥箱的壓力。該法可提高箱內(nèi)全壓，改善傳熱條件和升華界面的允許溫度，同時暫時關(guān)閉泵還可降低運行成本。其缺點主要為傳導(dǎo)真空計的測量誤差較大．可能導(dǎo)致冷阱結(jié)冰不均勻．甚至造成進(jìn)口處阻塞。