抽氣速率
真空泵出口為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓狀態(tài)(760mm汞柱)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)通過真空泵進(jìn)口的吸入狀態(tài)下的氣體容積，單位為m3/min或m3/h。
極限真空
真空泵氣量為零時(shí)的真空度。極限真空用絕對(duì)壓力表示，單位為mm汞柱(mmHg)，也可用相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力760mm汞柱的負(fù)差值表示(-mmHg)。二者換算關(guān)系為:絕對(duì)壓力(mmHg)=(-mmHg)+(760mmHg)=1mmHg=133.322Pa。
